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電阻阻值測試方法中單點(diǎn)測試電阻有那些缺點(diǎn)

來源：萬利隆電子 閱讀量：2000發(fā)布時(shí)間：2019-02-13
電阻阻值測試是電阻使用中重要的環(huán)節(jié)，精確測試出電阻的阻值對(duì)應(yīng)電阻器的使用非常重要，目前很多產(chǎn)品都非常重視電阻的測試，而現(xiàn)階段的電阻阻值測試方法均為單點(diǎn)測試法，即在測試結(jié)構(gòu)上施加一個(gè)電壓或者電流，量測出相對(duì)應(yīng)的電流或者電壓，然后利用歐姆定律計(jì)算出電阻R，那么這種電阻阻值測試有哪些缺點(diǎn)呢，我們分析如下：
電阻阻值測試
 
單點(diǎn)測試法雖然檢測過程簡單，但是存在以下兩個(gè)缺陷：(1)沒有考慮測試機(jī)臺(tái)測試性能的穩(wěn)定性，機(jī)臺(tái)本身量測性能的穩(wěn)定性會(huì)影響到實(shí)際的測量值，特別是在小電阻量測過程中有顯著的影響，不容忽略。(2)無法直接判斷測試結(jié)果數(shù)據(jù)是否受其他異常因素影響，比如探針卡與測試結(jié)構(gòu)的接觸問題。
電阻阻值測試
以采用單點(diǎn)檢測法的應(yīng)力遷移測試結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)為例，第一次測試電阻為0.27ohm，第二次測試阻值為0.23ohm，兩次測試誤差0.04ohm，測試誤差達(dá)到15％，對(duì)于其他樣品的兩次檢測中，最大的測試誤差達(dá)到了19％，最小的測試誤差也有13.8％，因此單點(diǎn)檢測法難以得到精確且穩(wěn)定的檢測結(jié)果。
電阻阻值測試
 
而隨著集成電路工藝多樣化發(fā)展，電阻生產(chǎn)工藝改進(jìn)，貼片電阻工藝廣泛應(yīng)用，對(duì)電阻測試需要進(jìn)行可靠性評(píng)估的測試結(jié)構(gòu)的電阻值越來越小，而可靠性評(píng)估過程，比如應(yīng)力遷移測試和電遷移測試過程中，對(duì)測試結(jié)構(gòu)的電阻測試精度要求越來越高，因此目前的單點(diǎn)測試方法難以滿足測試要求。
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